檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="微晶"
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本論文使用磁控式共濺鍍系統沈積Cu-SiO2複合薄膜,並探討含量相異的銅在薄膜內的析出及薄膜電性。實驗第一部分是以鋁片為基材沈積Cu-SiO2薄膜,再以XPS量測不同濺鍍條件下,銅在Cu-SiO2薄…